Σύστημα ALD για Εναπόθεση Λεπτών Υμενίων

αρ. 1 σύστημα ALD για εναπόθεση λεπτών υμενίων σε ατομική κλίμακα BENEQ TFS500, διαστάσεις 1.800 mm x 900 mm x 2.033 mm, εύρος θερμοκρασίας 25-500 °C (μηχάνημα προορισμένο για προηγμένη έρευνα και για βιομηχανική παραγωγή στους τομείς της μικροηλεκτρονικής, φωτονικής, αισθητήρων, λειτουργικών επιστρωμάτων και νανοτεχνολογιών· επιτρέπει ελεγχόμενες, ομοιόμορφες και σύμφωνες νανομετρικές εναποθέσεις, ακόμη και σε πολύπλοκες και τρισδιάστατες επιφάνειες).

Μάρκα: Beneq

μοντέλο: TFS500